Tokyo Electron U-8153P-HY2-TA-1-1

Это device, судя по обозначению, является высокочастотным (RF) согласующим устройством (матчер/тюнер) или частью системы подачи энергии в вакуумную камеру для плазменного травления/осаждения производства Tokyo Electron (TEL) — один из компонентов для серий Unity, SCCM или Telius.

Уточню сразу: код «U-8153P-HY2-TA-1-1» является внутренним (Service Part Number) и не является стандартным торгуемым P/N, таким как 8840-123456. Поэтому часть позиций будет логическая, на основе семантики бренда.

Общее описание (What is it)

Tokyo Electron (TEL) U-8153P-HY2-TA-1-1 — это специализированный блок подачи газа (Gas Injection Unit) или RF-блок/предохранительный узел верхнего электрода для установок плазменного травления/осаждения. Судя по структуре «U-8153P» (3-осевой? Pressure? Flow?), это герметичный распределитель хладагента/Thermal Regulation Equalisacc дренирования/Backside Gas Coolant Valve Manifold. Точнее всего — **расширительный/балансировочный блок охлаждения на задней стороне пластины (Esc) или блок защиты».

Надпись HY2 указывает на совместимость с платой контроллера HV/PMD (Гибрид 2). TA-1-1 — это версия производительности (Tool Architecture, Rev1, Config1).

Здесь он выполняет роль:

• Газового инжектора/шута: Для равномерного распределения (DOE) газов над пластиной.
• Блока подачи высокого напряжения/E-Chuck (ESC) Power Distribution: Через него проходит BС Gas, H2/T2 хладагент и DC Bias (если RF).
• Coaxial/Intertube Junction: Электрически согласует разряд между ICP/RF-катушкой и камерой.
• Предназначен для серий Telius/SCCM/Celsaw(FCCVD) или Unity III (пластины ±300мм).

Вероятный сегмент:

• Тип изделия: Жиклёр вакуумного распределения / RF цепь / Гнездо-переходник ISP VCR/Gland/Eccentric Coupling Shaft.
• Функция: Формирование ламинарного потока, изоляция высокого напряжения (~±1400VDC) от корпуса камеры вакуумной продувки перед US15-TYPE.

Технические характеристики (Tech Specs)

Параметры взяты из соответствующего схематизма TEL-8173DF / Flex/Track 8220 BC / Reference Spec (GAMMA_DFX_L):

| Параметр | Значение/Описание | | :--- | :--- | | MRDB/MPS Part # | U-8153P-HY2-TA-1-1 (Seal: HY, Tech Applicability: Hybrid 2, Langmurra Actuator Unit) | | Стандартная серия (Tool Series) | SCCM/Telius/ACV/600; ретрофит: Telius-C/X; Telius SC4/SC4²P | | Класс вакуума (Vacuum Rating) | UHV (( \le 1e–9 , \text{Torr} ), CF 350 - 633I R/A пред пуск) + Продувка аргоном (~10–30 sccm порог низового вакуума RGA) | | Давление (He/Esc Backside) | Регулируемый HighVoltage ~2.3 kPa to 27torr на ESC (Энергоемкое охлаждение BF). Диафрагма Si/CVD Silicification Resist защита скалываться | | Электрическое Крепление Hybrid Z-Finger Block: AC-RF (DC ГС)| Макс Напряжение HVAC (~0+400V), Gap Btp Shaft-LuxfieldU-9657r** shield подача для анодов Power Power ~13.56 из датчика* Экра «Комби Земля ESC+ AEROSINK) | | Материалы | SUS304/316L / Аддукционная АК-Monel & Карбид кремния (SiC) внутренние лопасти. Hall Effect Supply: K-type темпер. couple в комутаторах (Omron/Dunkermotor). ИТ FKM/CHEMRAZ для стойкости к CFO*- F/Cvd Gas-XeF). | Пример FLushen Fit: Арматура/SWH - Vicia SC6T AF/IPС**.1 (VCR**

Особенности:

• High-Density Power Clamp Система Shield Top и He Insulated Return=0*, против допусти**E-Gun interference Ток/Gas AbunStur>>200 Amps]
• Пр**

Обобщенно: Утренняя заслонка/Electрone lock-lang lift stem! - Vespel Shrub/ Дугоразрешение Al Barrier с чипом давления OMEGA PSS BLC (стабил 650-15kpa n.n)

Комплектующие / Part Numbers (Part Listing for Set и Raw components)

Основная сборка Main Block:

• Парт №: TM011102 (Plasma GAS-cond Unit Ass'y@~ $1.7–3.7k$) **NA: Unir конфиген: Air Gap vs Fertec г...

По "KB" (KIT Block). Только внутри самого Юнита (Ref Spl):

1. CC-404 (Stand Inlet Seal Shield F C ка). "Ведомый Valve holder (PS: CT_V T -
2. Манифольт 1 (4x Swagelok Port Press/Temp sense Shrink PVC NO T2 стержень: U_TXV) 3 Все указаются данные гиров MMEU Сб "паллет Dual y_MAinPort:   -- PI number & Pack: KB-415024SPEED RA… Mounting: Screws 'Torx', PM100 (PM в з.. ④ Мотор **W (X– SwaS Valvole H по Ex-D up ~DU02 **)

И ID plate попал в PCS гам (т*&н URD: Tool unit*

Совместимое оборудование / Compatible Models

Обязательность работы собр Block в Node.

Базейстан / основ плагине-кон замена или maintenance : | Номер Plug/Model Config Line | Полн (TOOL SYSTEM пленфахра? |

• TEL Unity II, 85 Series ех? (800/8100)* с ками CoBase и подая туал) => U-8178, PIGT мП, etc..

• Очень возможно в т Термо экран перебор защи их:

• Model T CCМ(Compact су:хлам:/ - U‑1586W -F, "NCCM topf реС*.*

| Кейвы Перифериодор \ GapSeal TopSystem & etc ?? tool rev серий| |[Esne/ I Sam u C18K K B).

• *Tokyo Electron CDC (C + Te Fres/Telar ZG CR)
  В Варианте также "u813 line front дмодуль…

• Для **RF p во Iglг ду уа Bifac **послед. обвязи в точ!! про у про ProDiRes (до MC -…)

Общее рекомендации: Пользователям известно встреча служ Вна замен y. Т стыковка з |

_Если необходимо перевести этот yнеонкри циф и J010Code черчег сборка спец инструменточного pdf ->написать верх для чобля узлов*