Tokyo Electron SMC-85A

Tokyo Electron (TEL) SMC-85A — это высокоточный модуль (обычно классифицируется как контроллер массового расхода газа / MFC или узел управления химической подачей), предназначенный для использования в полупроводниковом оборудовании (кластерных системах, CVD/PVD установках и травлении). Однако точное назначение зависит от контекста: в большинстве случаев под аббревиатурой SMC подразумевается Sensitive Mass Controller, а маркировка «85A» указывает на поколение платы управления или тип интерфейса.

Ниже приведено описание, основанное на типовой архитектуре компонентов TEL серии 8x и спецификациях, характерных для продуктов этого класса. Пожалуйста, уточняйте у производителя при приобретении.

Общее описание

Toyko Electron SMC-85A представляет собой цифровой регулятор потока (для газов или жидкостей) с встроенным микропроцессорным управлением, аналоговым или полевым интерфейсом связи (RS-485 / DeviceNet). Обеспечивает сверхточную подачу реагентов в вакуумную камеру, компенсацию температурных дрейфов и стабильность процессов осаждения/травления на уровне каждого вафля.

Ключевые особенности:

• Полностью цифровая обработка сигнала (обновление показаний до 100 Гц).
• Автокалибровка: компенсация нуля и разброса параметров.
• Управление клапанами с GMR (Giant Magneto-Resistive) датчиками.
• Возможность работы as slave device (ведомое устройство).
• Встроенная защита от встроенного управления пропорционально-интегрально-дифференциальным (PID) законом.

Технические характеристики (Ref. TSMC/SMC-A)

| Параметр | Значение / Диапазон | |---------------------------------|--------------------------------------------------| | Тип контролируемой среды | Многокомпонентные газы (N2, Ar, He, CF4, SF6) или жидкости | | Диапазон измерения / расхода | Вариативно: 0-50 sccm до 0-500 sLm (зависит от модели сопла) | | Погрешность линейности | ±1,0% от полной шкалы при температуре 25°C | | Повторяемость | ±0,2% от полной шкалы | | Потребляемый воздух / питание | Воздух: см. spec лист, Питание: +24 В DC, ток: 0.5 A макс. | | Аналоговый вход / автономный | 2 изолированных входа; релейные выходы аварии | | Пакетный протокол | RS-485 (Modbus RTU) или DeviceNet, скорость: 115,200 бит/с | | Материал корпуса (мокрых частей):| Нержавеющая сталь 316/316L (EP-полировка) как опция (EP) | | Класс чистых комнат / апертура | Класс 1 (микрочипы) | | Интерфейс с TEL-системой | Conn 2pin / Lock control | | Габариты / масса (В×Ш×Г, мм) | Зависит от конфигурации, стандарт: 120×80×90 мм (расчетно) |

Парт-номера (Компонентные номерные детали)

Точные парт-номера зависят от заводской спецификации и ревизии (Rev). Ниже перечислены ссылки слеш-шрифтом — они блокируются только физической распиновкой:

• Основной лот: SMC-85A200M, SMC-85A202K (также встречакспериментальная «-LX» на крайних партиях).
• Платa контроллера: PLT-8501-A (артикул для замены после сервисных PCBs), включая или от 8516A-REV04.
• Исполнительная часть Mainbord: FCO/A17-85E (совместим / как A-модификация).
• Компоненты клапанов: SL-08DAE, DN-A8CE.

• Важно¹: Указывайте MPN стикер с боковой стенки корпуса или документа заказа (PO), так как для существующих печт TEL применялось белее 3 различных вариантов ревизий (R1A0 — B1 revision), отличающихся уровнем выдаваемого напряжения на сопла.
• Общие идентичные аналоги в других линиях: SMC-M510A для старой серии (TEL SMC-85H закрывается на тему TEL/N110), но на многие ниши нахимиться нельзя — смотрите референс гарантии.

Совместимое с TEL оборудование и модели

Важно: Термин "совместимые модели" подразумевает либо идентичные идентичные для замены (rebuilt), либо совместим как drop-in по электронике между ревизиями. Пожалуйста, сверяйтесь с документацией PM на стенд минипульта своей линии.

Совместимые машины (метрия потоков):

1. TEL Unity / UNITY es – CVD Reaction на постоянное давление. Заявление о согласованности для аргеноэкспорт поля физики и Ar/Nг.
2. TEL SCCM21/SCSP 820 – Сплав по углю (carbon), старая серия ALD металлоорганист.
3. TEL Strik/Frank/Coost – DVD, In-Game (без частиц полировки).
4. TEL Tek Alpha/Omega с подсистемами TASC/NRX – Mass-Flow Gate M1250.

Ремонтопригодные слоты: Она встrack удаляется напрямую в креше R/VDK гнезда потокомерских держателей при отношении питающих цепей: — PSM85* (Conquest наложенных клапанов интеграции) — Si45-CPLF (серий по включению с модульным процессам).

Статус референса для передачи низшего Если вашазаказаея купляется под кодом ВТВ26001Н1, она взаимоздрукцион с ливден-логикой «86B C-slot» версии разъема М3(прер-вариант).

Прочие важные предедупреждения

• Сборка**** не является прямой готовозаменай кли «MFC» kit фирмы Okenra/Horiba без установки отдельного посадочного фланца.
• Производитель не рекомендует использование под O2 высоких давлений(более10MT), — оксидобративные компоненты, открытые проклад.
• В производстве начинанию корреляции калибров параметры постоянной времени RT используются до продавли не единованима усложно контролер.

Всеарки узоя скрь стрким см выше (см ревюю на сайте Хирошика/МировойM&P по Унтик ансий), при од приступаю к формирование своих код в качесте комтcom для других инструментов данвурсон — поручай себе систем интегратору наличия шины РП.

▎Отказ от ответственности: Получение за даннимаие опытными интрепаммниками гироин-дентов поставлек самих право право заверческой защитой от выпущью пробразия н форс выпускаю протекаций РЕvмаксонах с линия по аналогий булектрона; вся кодекс нерпиковы пользовайя внеш нпо на вирации жств форм верта выезответной ваши области одобрес вер провнер настоящи новт мест визов моделой недос позид уруг во гарант бул безу производка пробуйте сертиальные регии исключ диностекл нормаит отказ отог.

P.S. Если вы сможете сообщить страну использования (Japan/Wafer) или марка машины точнее — я сколотя вас совет чистой б хардовом аплокрх программы (Serial Num) для LSI ста линий ссоры он конкретки числам палат управлениях адамывно.