Tokyo Electron MC-31161A

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для контроллера Tokyo Electron MC-31161A.

Общее описание

Tokyo Electron MC-31161A — это высоконадежный промышленный многофункциональный контроллер (MCU), разработанный для управления сложными модулями оборудования в полупроводниковой индустрии. Он является ключевым компонентом в кластерах и процессорных модулях TEL (например, в установках для нанесения фоторезиста, проявки, очистки, травления, CVD).

Это специализированный компьютер, построенный на архитектуре QNX (реального времени), который отвечает за:

• Управление движением (оси, роботы-манипуляторы).
• Контроль процессов (управление клапанами, насосами, регуляторами давления MFC, нагревом).
• Сбор данных с датчиков.
• Обработку рецептов (последовательность операций для обработки wafer).
• Коммуникацию с вышестоящим Host-компьютером (по протоколам SECS/GEM, HSMS) и с нижестоящими узлами (последовательные порты, полевая шина).

По сути, MC-31161A — это "мозг" отдельного модуля или камеры в установке.

---

Технические характеристики (основные)

| Параметр | Характеристика | | :--- | :--- | | Назначение | Многофункциональный контроллер для полупроводникового оборудования | | Архитектура | Real-time OS (QNX) на базе PC-совместимой платформы (часто на процессорах Intel) | | Интерфейсы связи |

• Ethernet (для связи с Host, другими MCU, engineering terminal)
• Последовательные порты RS-232/422/485 (для связи с датчиками, приводами, сторонними контроллерами)
• Полевые шины (часто DeviceNet или аналоги для подключения распределенных I/O-модулей, приводов)
• Интерфейс для связи с нижестоящими контроллерами (например, для управления роботами)

| | Ввод/Вывод (I/O) | Управление осуществляется через внешние модули удаленного ввода/вывода (Remote I/O), подключенные по полевой шине (например, DeviceNet). Сам MCU редко имеет встроенные дискретные I/O. | | Программное обеспечение | Работает под управлением проприетарного ПО TEL (прикладное ПО для конкретного типа оборудования). Загрузка и обновление через сеть или с внешних носителей. | | Корпус и условия | Промышленный стоечный модуль, предназначенный для установки в электрические шкафы оборудования. Работа в условиях чистого помещения. | | Блок питания | Внешний, стандартный для стоечных систем TEL (например, +24V DC). |

---

Парт-номера и связанные компоненты (BOM - Bill of Materials)

Важно понимать, что MC-31161A — это базовый модуль. Для его работы в системе требуются дополнительные компоненты. Номера могут варьироваться в зависимости от ревизии и конкретной платформы оборудования TEL (Tactras, Lithius, Trias и т.д.).

1. Основной модуль контроллера:

• MC-31161A — базовый парт-номер контроллера.
• MC-31161A-xxxx — номер с суффиксом, обозначающим специфическую ревизию, конфигурацию или версию ПО (например, -R01, -S01). Это критически важный номер для заказа.

2. Критически важные сопутствующие модули (часто поставляются/используются вместе):

• Источник питания: Модуль, преобразующий входное напряжение в +24V/±12V/+5V для плат внутри стойки. Номер типа PS-30xxxx.
• Модули удаленного ввода/вывода (Remote I/O): Например, модули серии EX-251xxx (для DeviceNet), к которым подключаются датчики, клапаны, реле.
• Контроллер DeviceNet: Плата или модуль (например, DN-31xxxx), выступающий мастером на шине DeviceNet для связи с Remote I/O.
• Контроллер последовательных портов: Плата с несколькими портами RS-232/422/485 (например, SC-31xxxx).
• Жесткий диск или DOM (Disk On Module): Накопитель с установленной ОС QNX и прикладным ПО. Может иметь отдельный номер.
• Карты расширения: Дополнительные платы в слотах MCU (сетевые, специализированные).

3. Расходные и запасные части:

• Вентиляторы охлаждения для стойки контроллера.
• Аккумулятор для резервного питания часов реального времени (RTC Battery) на материнской плате.
• Кабели связи: Сетевые (Ethernet), для DeviceNet, последовательные.

---

Совместимые модели оборудования TEL

MC-31161A применялся и применяется в огромном количестве моделей оборудования Tokyo Electron. Он является стандартным контроллером для целых поколений инструментов. Вот основные линейки:

1. Фотолитография (Coater/Developer):

• Серия ACT (Act系列): Стандарт для coat/develop систем 200мм и 300мм.
  • ACT 8, ACT 12, ACT 480 (для 200mm wafer)
  • LITHIUS Pro / LITHIUS Pro Z (для 300mm wafer) — один из самых распространенных примеров.
• Серия Clean Track (более ранние модели).

2. Травление (Etcher):

• Серия Tactras (например, Tactras S, Tactras 2).
• Серия Trias (например, Trias S).
• Модели для травления диэлектриков и металлов (SCCM, TCP, CCP-типы).

3. Очистка (Clean/Wet):

• Оборудование для мокрой химической обработки кремниевых пластин.

4. Нанесение тонких пленок (CVD - Chemical Vapor Deposition):

• Некоторые модели CVD-установок TEL.

Важное примечание по совместимости:

• Прямая взаимозаменяемость между разными инструментами часто отсутствует. Даже физически идентичный модуль MC-31161A будет запрограммирован уникальным прикладным ПО (Application Software), специфичным для конкретной модели оборудования (например, для Lithius Pro он будет один, а для Tactras — совершенно другой).
• Конфигурация (набор плат расширения, версия ПО, настройки) жестко привязана к задаче.
• Замена контроллера почти всегда требует восстановления ПО и конфигурации из резервной копии (Backup) с оригинального устройства или с сервера TEL.

Вывод: MC-31161A — это стандартизированный аппаратный платформенный модуль TEL, который становится специализированным контроллером только после установки соответствующего программного обеспечения и конфигурации под конкретную модель установки.