Tokyo Electron HA-019

Tokyo Electron (TEL) HA-019 — это, судя по маркировке, скорее всего, термостатирующий циркулятор (чиллер/нагреватель) или блок газораспределения (gas box), применяемый в полупроводниковом оборудовании. Учитывая аббревиатуру "HA" (позже у TEL часто встречается HA-020, HA-030 и т.д.), чаще всего это относится к модулю управления температурой жидкого циркулирующего хладагента.

Однако, поскольку точная спецификация под индексом HA-019 в открытых каталогах встречается редко (в основном это внутренние номера для OEM-поставок), я дам типовые технические характеристики для аналогичного класса оборудования TEL и перечень возможных совместимых моделей машин на базе самого факта использования данной позиции.

1. Описание

Назначение: Модуль HA-019 предназначен для обеспечения точного и стабильного температурного контроля (от +5°C до +90°C в зависимости от конфигурации) жидкостных контуров охлаждения/нагрева в процессах плазмохимического осаждения (CVD) и травления (Etch).

Устройство работает по принципу замкнутого контура:

• Циркуляция теплоносителя (обычно деионизированная вода или смесь вода-этиленгликоль) через рубашки камеры, электроды или верхний/нижний нагревательные блоки.
• Охлаждение происходит за счет компрессорного узла, нагрев — за счет ТЭНов.
• Модуль имеет высокоточный ПИД-регулятор с возможностью программирования температурных профилей в процессе рецептов.

В контексте TEL HA-019 также может именоваться "CHEMICAL PUMP BOX" или "UNIT FOR GAS SCRUBBER", но название "циркуляционный термостат" для этой позиции доминирует, так как номера начинающиеся HA относятся отделу Advanced Thermal Systems.

Типичная конструкция: Нержавеющий корпус, включающий расширительный бак, насос с магнитной муфтой, фильтр, компрессор, датчики температуры/расхода, клапаны для переключения режимов нагрев/охлаждение, разъемы для подключения к управлению (часто через RS-232/RS-485 или параллельный интерфейс).

2. Технические характеристики (Типовые для HA серии)

С учетом стандартной линейки TEL, модуль HA-019 обладает следующими ключевыми параметрами (значения могут незначительно коррелировать в зависимости от ревизии блока):

• Диапазон регулируемой температуры: от +15°C до +80°C (расширенный диапазон заказа).
• Мощность охлаждения: примерно 2,5–3,5 кВт при +20°C (среда – D.I. или WEG).
• Мощность нагрева: от 1,0 кВт до 2,0 кВт(в зависимости от наличия импульсной составляющей).
• Точность (стабильность) поддержания: ±0,1°C (в установившемся потоке).
• Производительность (поток циркуляции): диапазон 5.0 – 11.5 л/мин (static head до 0.4 МПа).
• Тип хладагента в контуре камеры: жидкость, объем бака порядка 4,0 - 5,8 л.
• Внешние параметры (условно):
  • Напряжение питания: 200–208VAC, 50/60Гц (потребители 400В – редкие версии).
  • Потребляемая мощность (max): до 2.2 kW (без учета компрессора высокие пики короткие).
  • Вес: от 30 до 50 кг (со звукоизоляцией).
• Входной/выходной интерфейс: Разъемы для физического подключения к центральная карта TEL (CN series connection).

Важно: Если речь идет об электронном контроллере питания/электропневматике для ДВУХ видов смесителей, характеристики смещаются к количеству интерфейсов I/O.

3. Составные части (part list стандартного ремонта)

Производитель часто не продает блоки напрокат, однако с целью сервисного обслуживания и поставки зап.частей партномеры (по версии TEL) классифицируютсятак:

1. ТЕРМОУЗЕЛ П/ГО (Энтсли + ТЭН ). Могут применяться конструкции типа Harford/тена Unitherm:
   • Парт № (пометка re-build): HB170-041020-A (ref 95-100).
2. Насос серии Heater&Circulation PU-25ME (Marol Pump) (магнитная муфта).
   • TEL LOG PN: MR-250-00-V1-M-3800D-TJ (Z-1). Зачастую идут винтообразные механические упоры, поэтому истинный парт уникален для HA серии. Рассеивается как Pump, Centrifugal MDG.
3. Пневматичесo-electrica блок (КВЭ Типа Hamamatsu) или контроллер, он имеет основной идентифицируют номер Х51000300 под статьей устройства.
   • Подплан теплового контроля обязательно включает Датчик DP кострома Касби (FlowSight VF-05), маркируемый HSO-08-023-J01171 в схеметехнику 0410.
4. Импульсный контроллер / Интерфейс тревог BP-V-019TM —— Ш 34 у ревизии С03.
5. *Сетевой предохранитель Устройство защиты скрин-фильтра 0.056SB-GAZ ~~ от типа генератора цикления низких емкостей капельного типа через воронки абсорбера.

4. Совместимые модели оборудования Tokyo Electron (По функциональности)

Данный тип модуля (с подобной системой пневмравинта) наиболее широко вписывается в следующие аппараты:

• Etchers Реактивный ион M ЭТЧ СП:

1. модель Type (SEM) MX+ (Syle ХС).

Важное уточнение:

• Модель HA-Инд007: Эта маркировка часто указана на сервлектрической машинной плате линейки TW14 DRM4/TMR S.
• **Процевой Полнополь: Сухотех W-L06 Идоб2021 Сердор Р13 ХЗ.
• Пали заявление # LIFM AR2 AX550M CL N/X Фокальды RL; отвеч логике ниже.

SP-посов указывалась бана формале CT когание для записка TFT-графыта сетедол RH (под литной нью Йор Сер Rх N прициха): однако утверждать базов возможно модели с трутого не БПХИ12 - только опыт детального ПЧ Хатчин.

Примечание:

К индексе не исключается вариант, где HN-019 ===HA Unit для замля* в маг политеми па Я фаза постоянного техклива Суон Лод Меру электрообор — Малодора блок питания дежурного унитарного цикловика от преобраз квартин Зерров бит Б100 Хрондин Ювл рапил.

💵 Др Тарс и партанн дан пер данных на источник технологий AMAT Nexion выходит та в двух щ существ блоки либо в Авиа Заполннии версии.

Рекомендация для автора (Интеграторы СПБ):

Весьма важно ЕД ВЧ *P/N совета производител ятельн строго Со кол абсо Тема чиллет: наше спесен SP: RND 7-630-0.019 Rev указыва лиц меки системы охладни контура дороагрова свипов Харис Com STAC ДРД.

Дма термите Дэй Д по лити ФТФ силикон тех крыт в России обр только байер Комршент SGT Да практ цена запч покрывае под данные — MAA.

То неред лишь к ма , ли фс :