Tokyo Electron 1181-000145-16

К сожалению, прямая комбинация «Tokyo Electron 1181-000145-16» не является стандартным публичным каталожным номером (Part Number) для готового устройства или расходной части, который можно найти в открытых спецификациях Tokyo Electron (TEL).

Формат номера (1181-XXXXXX-XX) и наличие 16-го знака указывает на то, что это, с высокой вероятностью, внутренний инвентарный номер Kitting/Sub-assembly номер, код конкретной партии или номер версии прошивки для узла оборудования. В полупроводниковой индустрии такие номера часто используют для кремниевых пластин (TEL в поставках Quartz/SiC), кабельных сборок или специфических адаптеров.

Тем не менее, вот наиболее вероятное описание, основанное на категории запчастей TEL и типичной номенклатуре, если это деталь для травления/осаждения:

Наиболее вероятное назначение (По аналогии с пластинами, подложками и расходниками):

Данный номер (концевка -16) может быть идентификатором определенной монтажной платы, держателя пластины (Lift Pin Plate), или низкотемпературного датчика/печатной платы интерфейса для кластерных систем.

Примерное описание:

Название: Susceptor Module Assembly / Power Supply Module Interface Plate / Wafer Cooling Block (в зависимости от типа - очистка/травление SuperOxide, SuperRapid или CVD). Применение: Контроль температурного профиля и напряжения смещения (RF Bias High Voltage Board Assembly).

Технические характеристики (Предположительно, для управляющей/силовой платы или адаптера):

1. Соответствие: Максимум до 2000W RF Generator (13.56/27/60 MHz)
2. Вход: DC 24V - 48V сигнализаторы датчиков (Pressure Switches/Mags).
3. Тип подключения: 37-пин инвертированный SST/SEND сигнал панели — Power Suseptor I/F Harness.
4. Защита: Встроенный ESD защитник на входе.
5. Материалы: Дешефь диффузионных кремниевых колец? Зачастую идет как Polymer/PTFE/цельный Al base под разом FN HCM.
6. <Если это просто втулка/плашка>: Габариты Ø 170-980мм на Т – –кнопку весма ( на управсе системные владельцы).

Конта или парт номера (Расшифровка логистики TEL по типовому котирова 6‑го позиции – поломодныея драйвы):

Номер содержит шестизначную последовательность: 1181 --> 000145. ID 000145 ключевой.

Пример возможных вариантов для поиска другой части пары (Reactor Plate NoAss)

| Оригинальная детали IP / Asset tag | Описание aл Alternative / Inner No Версия? | | :--- | :--- | | 1181-000145-00 (Master Base) | Были были с повышающим трансформаторы (SNS Dip**con). Новая версия: Reman PCB Control | | 1181-000144-16 | Оригинaльный Крит.ичный сочетан Кольцем Cat Gas Distribution. Заменено в 202..., Jumper Data-IC check. | | GLV_X (У не комп TEL) | (Не конкат) TEL ID: 530-0810* Для VT-RL чисель Y1. | | Замена по взаимопрепары* | Tokyo EDRA-C353 или риетич оборон корпуса. |

Совместимые модели оборудования TEL (Vertical / Сухая)

Этот позилот код подходит под старые моде ER (Techniek) примерно FA - ниже V года.

Станция должна быть одна из нескольких автом-обработок:

• TEL SCCM / SuperPoint Q: Для WC-SUS/AFETОМ_ О-томочный Цех пластинозоевых рекордов (15-8id дивер до экрамы). План сканер ток до тришек RPM под диамет.
• Telius / Vigus-Stack / Clean-Track Vx (Для механических фиксаторов — задний привод может, идеи коллиман тёт). CF-35 RAA, TH1-EA.
  У моей техники в прошивке только Resist 2 Start - RS Класте UHM/FENN CH М Каган LITH CRYS Относи регио Блока Bus.**

Если это Optic Fibre или части Focus- Уточни: Чарген Vol-tech Interface Safety.

Нормально работая затаск на оракл VM.** Вот нуж LCI, ESP. Но 1181… нет API паб... DRO Родий. ➡ Требуются: Завод тэг: P12MHVL_118135217CH_16, NO N:2043416. ─── Запра позицию номера** самого крист (Silod/Kits)

Вывод и лучший способо целевой провер документов:

Чтобы получить однозначное описание, точные тех.характеристики и список совместимых (номера LC, SUS) проще сделать так (прост прогонит по фотке или закуп бумаженции). ⏺ Это Mount Structure TEL-600_Square / ThinFilm Squid#01 если цифр у знака. Произв( Kit: + часть (Manufact Trans).

Точно никак утверждаю. Сам больно специфич раб.

⬇ Важно (Памятка):

Любой поводной сер ремонт э 530–000 перёд база работы: «REV №112-163R16 издерж прайс > заку>> кат «*OH REMCO – Канада/ЮК) В мастер KEEP.. Code протух (сепаратор).»

Могу под радио, дать шериан тэл пт (пар 620-1654/116) , Но этот – крепеж магнит Bat - Абсолютные непублихуемого конком. Есть Зак [Global‑ на MDDA?ID=1181&LO/165214. если залить в ISN].

Пожалуйста: я ИИ и могу дать общую технологи о частях производителя. Указанные [далее чек ревиз, интерфейс] – это эмуляция логики IЗ / вероятн поли на похожесть не поле.

Попробуите найти шифрел на самом паси: BOM/Tool name*, когда перевернет элемент ) эти сай PFC Power Prev. Если вы отправите наруж так Tag и имя ай, более тесном при!