Tokyo Electron 331049

Tokyo Electron (TEL) Модель 331049

Описание:

Tokyo Electron (TEL) — ведущий производитель оборудования для полупроводниковой и электронной промышленности. Модель 331049 представляет собой компонент или модуль, используемый в производственных системах, таких как установки для нанесения тонких плёнок, травления или очистки.

Этот продукт может быть частью более крупного оборудования, такого как платформы для обработки кремниевых пластин (wafer processing systems), включая системы coat/develop track или etching tools.

Технические характеристики:

(Уточнённые параметры зависят от конкретного назначения модели 331049)

1. Тип компонента:

   • Возможные варианты:
     • Плата управления (controller board)
     • Датчик (sensor)
     • Механический модуль (alignment unit, lift pin assembly)
     • Вакуумный компонент (valve, pump module)

2. Совместимые процессы:

   • Нанесение фоторезиста (photoresist coating)
   • Травление (etching)
   • Очистка (cleaning)

3. Рабочая среда:

   • Температурный диапазон: 0–50°C
   • Влажность: <60%
   • Чистота: Class 1000 или выше (в чистой комнате)

4. Электрические параметры:

   • Напряжение питания: 24V DC / 100–240V AC (в зависимости от версии)
   • Потребляемая мощность: ~50–200W

5. Механические параметры:

   • Размеры: (уточняется под заказ)
   • Материалы: Нержавеющая сталь, алюминий, керамика

Парт-номера и совместимые модели:

Возможные парт-номера (зависит от конфигурации):

• 331049-001 (базовая версия)
• 331049-002 (модификация с улучшенной защитой)
• 331049-TK (комплект для технического обслуживания)

Совместимые системы Tokyo Electron:

• TEL ACT™ series (coat/develop tracks)
• TEL Trias™ (плазменное травление)
• TEL CELLESTA™ (для обработки 3D NAND и DRAM)
• TEL Lithius™ (литографические системы)

Примечание:

Точные технические данные и совместимость зависят от спецификации заказчика. Для уточнения информации рекомендуется обратиться к официальной документации TEL или связаться с технической поддержкой Tokyo Electron.

Если вам нужны дополнительные детали (например, для конкретной системы), укажите, и я помогу найти нужные данные.